제품소개솔라셀 장비

솔라셀 장비

  • Texturing 공정 장비
  • P-Doping 공정 장비
  • PSG Removal공정 장비
  • ARC 공정 장비
  • Dry & Firing 공정 장비

ARC 공정 장비

PSG Etcher

ARC 공정 장비

C-Si Solar Cell 제조 공정 중 ARC 공정에 특화된 장비입니다. 공정 중 발생하는 오염 물질을 최소화하며, 컴팩트하게 설계되어 공간 활용도가 높습니다. 박막 태양전지 제조에 응용이 가능합니다.