제품소개솔라셀 장비

솔라셀 장비

  • Texturing 공정 장비
  • P-Doping 공정 장비
  • PSG Removal공정 장비
  • ARC 공정 장비
  • Dry & Firing 공정 장비

PSG removal 공정 장비

PSG Etcher

PSG Etcher

Solar Cell 제조 공정 중 Si Wafer의 산화막을 제거하는 장비입니다. Wafer의 파손을 최소화 한 이송 구조로 설계되었으며, Inline 공정에 최적화된 공정 조건을 가지고 있습니다. 고객의 요구 조건에 적절하게 대응할 수 있도록 유연한 설계가 가능합니다.