제품소개솔라셀 장비

솔라셀 장비

  • Texturing 공정 장비
  • P-Doping 공정 장비
  • PSG Removal공정 장비
  • ARC 공정 장비
  • Dry & Firing 공정 장비

P-Doping 공정 장비

Single C-Si Texturing

공정 중의 Cassett 이송 뿐만 아니라 공정 완료 후 빈 Cassette를 Loading 부로 회수하는 기능까지 갖춘 완전 자동화 시스템입니다. Chemical 농도 및 온도를 정밀하게 제어합니다.

P-Doper

Solar cell 제조 공정 중 Texturing 된 웨이퍼에 전극을 형성하기 위해 물질을 도포하는 장비입니다. 균일한 도포와 용이한 도포 제어를 위해 Dispensing system과 초음파 스프레이가 적용되었습니다.

Belt Diffusion Furnace

결정질 태양전지 제조 공정 중 불순물 도핑을 통하여 p/n 접합을 형성하는 장비입니다. 온도 균일도를 극대화하기 위해 사이드 히터를 적용하였으며, 3 zone 분리 벨트 구동 시스템으로 오염을 최소화하였습니다. 유지/보수가 쉽고, 저가/고효율/고수율 태양전지 제조를 위한 컨셉이 적용되었습니다.