제품소개솔라셀 장비

솔라셀 장비

  • Texturing 공정 장비
  • P-Doping 공정 장비
  • PSG Removal공정 장비
  • ARC 공정 장비
  • Dry & Firing 공정 장비

Texturing 공정 장비

Single C-Si Texturing

Single C-Si Texturing

공정 중의 Cassett 이송 뿐만 아니라 공정 완료 후 빈 Cassette를 Loading 부로 회수하는 기능까지 갖춘 완전 자동화 시스템입니다. Chemical 농도 및 온도를 정밀하게 제어합니다.

Multi C-Si Texturing

Solar Cell 제조 공정 중 Inline Texturing 공정의 특화된 기능을 탑재하여, Inline 공정에 최적화된 장비입니다. Wafer 파손 손실을 최소화 한 이송 구조를 갖추고 있으며 고객의 요구 조건에 적절하게 대응할 수 있도록 유연한 설계가 가능합니다.

Reactive Ion Etcher

얇은 두께의 Wafer 대응이 가능하며 64장의 Wafer를 한번에 처리할 수 있는 장비로, 차세대 고효율 태양전지 제작 방법에 핵심적인 역할을 하고 있습니다.