제품소개LCD/OLED 장비

LCD 장비

  • HDC고집적 세정장비
  • Developer 현상장비
  • Wet Etcher 습식 식각장비
  • Wet Stripper 감광액 박리장비
  • Coater 감광액 도포장비

도포장비는 LCD/OLED 제조 공정 중 Photolithography process에서 감광액(Photo resist) 코팅과 Flexible Display에서 Polyimide 코팅을 하는 장비 입니다. 감광액이란 원하는 부분의 금속막이 녹지 않도록 일종의 보호막 형태로 금속막 위에 만들어지는 유기물을 말합니다.
Compact size : 작고 단순한 구조로 공간활용도가 높습니다.
Less tact time : 코팅 시간이 단축되어 생산성이 향상됩니다.