제품소개LCD/OLED 장비

LCD 장비

  • HDC고집적 세정장비
  • Developer 현상장비
  • Wet Etcher 습식 식각장비
  • Wet Stripper 감광액 박리장비
  • Coater 감광액 도포장비

개요
현상장비는 LCD/OLED 제조 공정 중 Photolithography Process에 있어서 감광액(Photo resist)을 현상(Develop)하는 장비입니다.
특징
Simple Pipe Connection
: 간단한 구조로 설계되어 장비 크기가 작아지고, 구동 시간이 단축됩니다.
Develop Zone Roller
: 원통 Roller를 부착, 유리기판이 평탄하게 이동될 수 있도록 하여 수율 향상에 효과적입니다.
Bubble Discharge Function
: Tank 하부에 Chemical이 통과할 수 있는 격벽을 설치하여 불필요한 bubble을 효과적으로 제거합니다.